表面波器件制造工艺(下)

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三、刻蝕和剝离大多数表面波器件有金属薄膜的叉指结构。有时电极达几百甚至几千条,而且通常要求线条间不短路。在下节,我们将讨论形成这种金属电极结构的化学腐蚀法、离子轰击刻蚀法和剝离技术等并试图对各种技术的优点作出估价。化学腐蝕相当于所需金属图形的光致抗蚀图形经曝光和显影后,通常需要烘烤

[Key word]

[Abstract]

[中图分类号]

[基金项目]

引用本文 / Get Citation

Henry I. Smith,陈恩霖.表面波器件制造工艺(下)[J].现代雷达,1979,(2).

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