近二十年来,微波固态振蕩器是微波技术中最活跃、发展最迅速的领域之一。与微波电真空振荡器相比,它只需低电压电源,而且效率高、可靠性好、体积小,所以一直受到人们的重视。微波固态振荡器大体包含三个部分:(1)基本振荡源,用于产生高频振荡。它包括半导体有源器件、反馈网络;(2)调谐电路,用以决定频率。它可以是微波谐振腔,也可以是釔铁柘榴石YIG单晶球、介质谐振器等;(3)输出匹配网络,使能量有效地输出。新型的声表面波(SAW)及静磁表面波(MSSW)振荡器中的声及磁波延迟线则可同时起反馈和调谐的作用。