静磁波填补了声表面波的空白

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静磁波填补了声表面波的空白

佘显烨,吴波
佘显烨,吴波

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引言声表面波领域,无论从其基本原理,还有从具体的工艺来讲,都已成熟。声表面波是通过叉指型、加权型、切趾或非切趾型金属换能器在一种合适的压电基片上激励起来,沿基片表面以声速传播一段确定的路程,并在接收端用另一组换能器检测出来。换能器的作用是把射频能量转换成声能(晶格振动),并且,再把声能转换回射频能量。叉指型换能器要在基片表面上激励起声波只有用压电材料做基片才有可能,它还必须满足其它一些条件:例如,声损耗低、耦合效率高、温度灵敏度低和至少有一个方向

[Key word]

[Abstract]

[中图分类号]

[基金项目]